硅和二氧化硅的弹性矩阵、耦合矩阵、相对介电常数矩阵、密度、杨氏模量以及泊松比哪位大神能告诉一

看的一些资料里的部分解答一下你的问题吧，里边包括了MEMS杨氏模量、密度、热膨胀系数、泊松比等相关材料的参数